LT(Leak Testing,泄漏检测)
泄漏检测用於检测设备、管线、容器及焊接接头是否存在气体或液体泄漏,确保系统的密封性、安全性及可靠性。常应用於科技厂、半导体厂、真空系统、压力容器、特殊气体管路、石化、航太及高科技制程设备。
氦测漏测试(Helium Leak Testing)
氦测漏为高灵敏度泄漏检测技术,广泛应用於半导体、面板、真空设备及特殊气体系统。测试前须完成保压测试并确认合格,再利用氦气作为示踪气体进行检测,确认系统是否存在泄漏。检测设备灵敏度可达 1×10⁻⁹ atm·cc/sec,能有效检出微小泄漏点,确保制程设备及管路符合品质与安全要求。
应用范围: 半导体厂、面板厂、科技厂制程管路、真空设备、特殊气体系统(Specialty Gas)、化学品供应系统(CDS)、压力容器及高洁净制程设备。



氦测漏测试(Helium Leak Testing)
氦测漏为高灵敏度泄漏检测技术,广泛应用於半导体、面板、真空设备及特殊气体系统。测试前须完成保压测试并确认合格,再利用氦气作为示踪气体进行检测,确认系统是否存在泄漏。检测设备灵敏度可达 1×10⁻⁹ atm·cc/sec,能有效检出微小泄漏点,确保制程设备及管路符合品质与安全要求。
应用范围: 半导体厂、面板厂、科技厂制程管路、真空设备、特殊气体系统(Specialty Gas)、化学品供应系统(CDS)、压力容器及高洁净制程设备。


